全封閉直線電機模組

行程（可定制）800mm的直線電機全封閉模組。采用獨特的密封方案，與傳統的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應用在激光加工領域或者半導體行業，內部采用了高分辨的編碼器和無鐵芯的直線電機，使運動可以更佳的順滑和平穩，高精度等級的線性導軌使其機械運動的參數也極為優異。整體的運動過程中重復定位精度1um，補償后定位精度可控制在2um以內，整體運行直線度5um以內。

多軸運動平臺

直線電機驅動的多軸運動平臺，X軸驅動采用直線電機加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導軌，采用精度和耐用穩定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程10um以內。Y軸驅動方式與X軸相同，行程260mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機加高分辨率光柵編碼器的全閉環控制方案，通過特殊的內部傳動結構使電機外置，保證精度的同時也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復定位精度3um，補償后定位精度5um以內。旋轉軸可連續360°，重復定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應用于半導體等對精度有一定要求的行業。