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半導體行業自制設備

XY精密滑臺

片庫
特征要點:
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復性精度≤7μm
·運行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標準

版庫
特征要點:
·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒蓋檢測
·掩膜Mapping檢測
·自動完成光罩盒開解鎖
·支持RFID掃讀和數據上報
·支持掩膜二維碼掃讀和數據上報
·掩膜交接重復性精度≤40μm
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·支持SEMI標準
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