搜索
瓦力
/
/
半導體行業自制設備
CATEGROIES
產品分類

半導體行業自制設備

XY精密滑臺

XY精密滑臺

Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機位移臺,旨在消除單個X級和Y級的集成,并提高系統的動態應用剛度。它的特點是行程范圍為 100mm,X軸和Y軸之間具有精確的正交對準,是精密工業應用的理想解決方案,X/Y重復定位±0.5μm、定位精度(含補償)±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s
片庫

片庫

尺寸:332*356*765
特征要點:
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復性精度≤7μm
·運行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標準
版庫

版庫

尺寸:321*298*437
特征要點:
·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒蓋檢測
·掩膜Mapping檢測
·自動完成光罩盒開解鎖
·支持RFID掃讀和數據上報
·支持掩膜二維碼掃讀和數據上報
·掩膜交接重復性精度≤40μm
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·支持SEMI標準
上一頁
1
2

無錫瓦力科技有限公司

 

電話:0510-85388486

電話:18651019777(陸先生)
傳真:0510-85381676
E-mail:
kevin.lu@awooe.com
地址:無錫市新吳區北環路中關村科技創新園40號樓D7-1

深圳分公司

 

電話:19928727203( 劉先生)
地址:深圳市寶安區新安街道裕安二路165號

版權所有:無錫瓦力科技有限公司     蘇ICP備17005806號-1

久热国产VS视频在线观看,亚洲AⅤ天堂AV在线电影猫咪,欧美牲交av欧差aa片欧美精品,GV天堂永久网站