XY精密滑臺

Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機位移臺，旨在消除單個X級和Y級的集成，并提高系統的動態應用剛度。它的特點是行程范圍為 100mm，X軸和Y軸之間具有精確的正交對準，是精密工業應用的理想解決方案，X/Y重復定位±0.5μm、定位精度（含補償）±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

片庫

尺寸：332*356*765
特征要點：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復性精度≤7μm
·運行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標準

版庫

尺寸：321*298*437
特征要點：
·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒蓋檢測
·掩膜Mapping檢測
·自動完成光罩盒開解鎖
·支持RFID掃讀和數據上報
·支持掩膜二維碼掃讀和數據上報
·掩膜交接重復性精度≤40μm
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·支持SEMI標準