CATEGROIES
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特征要點:
·支持6吋單槽和6槽位光罩盒
·光罩盒和盒蓋檢測
·掩膜Mapping檢測
·自動完成光罩盒開解鎖
·支持RFID掃讀和數據上報
·支持掩膜二維碼掃讀和數據上報
·掩膜交接重復性精度≤40μm
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·支持SEMI標準
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