片庫

尺寸：332*356*765
特征要點：
·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette
·Cassette加載檢測
·整體潔凈度等級優于ISO Class4
·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度
·晶圓交接重復性精度≤7μm
·運行速度最大150mm/s
·停電或緊急停止安全原位保持
·維護MTTR≤30分鐘
·支持SEMI標準

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資質榮譽生產實力

產品描述

參數

加載、處理和傳輸晶圓的專用設備，是晶圓傳輸的重要人機接口。

特征要點：

·支持4inch/5inch/6inch/8inch/12inch Cassette

·Cassette加載檢測

·整體潔凈度等級優于ISO Class4

·Mapping姿態檢測最小支持300μm厚度

·晶圓交接重復性精度≤7μm

·運行速度最大150mm/s

·停電或緊急停止安全原位保持

·維護MTTR≤30分鐘

·支持SEMI標準

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XY精密滑臺

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版庫

 全封閉直線電機模組

行程（可定制）800mm的直線電機全封閉模組。采用獨特的密封方案，與傳統的上部鋼帶密封模組相比，上部可以安裝堅固的蓋板，使其可以更方便與高壽命的應用在激光加工領域或者半導體行業，內部采用了高分辨的編碼器和無鐵芯的直線電機，使運動可以更佳的順滑和平穩，高精度等級的線性導軌使其機械運動的參數也極為優異。整體的運動過程中重復定位精度1um，補償后定位精度可控制在2um以內，整體運行直線度5um以內。

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直線電機驅動的多軸運動平臺，X軸驅動采用直線電機加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導軌，采用精度和耐用穩定性并存的大理石平臺作為底座。行程600mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程10um以內。Y軸驅動方式與X軸相同，行程260mm，重復定位精度1um，補償后定位精度2um以內，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機加高分辨率光柵編碼器的全閉環控制方案，通過特殊的內部傳動結構使電機外置，保證精度的同時也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復定位精度3um，補償后定位精度5um以內。旋轉軸可連續360°，重復定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺可應用于半導體等對精度有一定要求的行業。

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 XY精密滑臺

Awooe-XY精密滑臺是一個集成XY線性電機位移臺，旨在消除單個X級和Y級的集成，并提高系統的動態應用剛度。它的特點是行程范圍為 100mm，X軸和Y軸之間具有精確的正交對準，是精密工業應用的理想解決方案，X/Y重復定位±0.5μm、定位精度（含補償）±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s

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